在半导体行业中,有许多常用的缩写和术语。以下是一些常见的半导体缩写及其解释:
1. PSG:磷硅玻璃(Phosphorus Silicate Glass)
2. TF:薄膜(Thin Film)
3. PVD:物理气相淀积(Physical Vapor Deposition)
4. PHO:光刻(Photolithography)
5. PCB:印刷电路板(Printed Circuit Board)
6. DIF:扩散(Diffusion)
7. RF:射频(Radio Frequency)
8. II:注入(Implantation)
9. UV:紫外线(Ultraviolet)
10. CVD:化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition)
11. VPE:气相外延(Vapor Phase Epitaxy)
12. SPV:扩散长度(Diffusion Length)
13. Bubbler:鼓泡器
14. CD:关键尺寸(Critical Dimension)
15. EMO:设备紧急按钮(Equipment Emergency Off)
16. CD-SEM:线宽扫描电镜(Critical Dimension Scanning Electron Microscope)
17. Scrubber:尾气处理器
18. ETCH:刻蚀(Etching)
19. Coat:包硅(Coating Silicon)
20. H2-BAKE:氢气烘烤(Hydrogen Bake)
21. SRP:外延层纵向电阻率分布(Specific Resistivity Profile)
这些缩写在半导体制造、研发、测试等环节中经常被使用。了解这些缩写有助于更好地理解半导体行业的相关术语和技术。
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